電子專用設備（bèi）產業是重（chóng）大（dà）裝備製造業的重要分支，是（shì）知識、技術、資本高（gāo）度密集型產（chǎn）業，處於電子信息產業鏈（liàn）^高端（duān），其基礎性強、關聯度高、技術難度大、進入門檻高，決定著一個國家或地區電子信息產品製造業的整體水平，也是電子信息產業綜合實力的重要標誌。  
　　前言  
　　電子專（zhuān）用設備產業是重大裝備製（zhì）造業（yè）的重要分支，是知識、技術、資本高（gāo）度密集型產業，處於電子信息產業鏈^高端，其基礎性強、關聯（lián）度高、技術難度大、進入門（mén）檻高，決定著一個國（guó）家或地區電子信息產品製造（zào）業的整體水平，也是電子信息產業綜合實力（lì）的（de）重要標誌。  
　　電子儀器（qì）產業是電子信息產業重要的基礎性產業，具（jù）有高投入、多品種、小批量、更（gèng）新換代快的特（tè）點，在國（guó）民經濟（jì）總產值中的占比不高（gāo），但對經濟發展的（de）“杠杆”和“倍增”作用卻^巨（jù）大。  
　　為推動電子專用設備儀（yí）器產業持續發展，縮（suō）小與國際同類產品的差距，根據《工業轉（zhuǎn）型升級“十（shí）二五”規劃（huá）》、《信息產業“十二五”發展（zhǎn）規劃》和《電子信（xìn）息製（zhì）造業“十（shí）二（èr）五”發（fā）展規劃》，製定本規劃。  
　　本規劃（huá）涉及電子專用設備和電子儀器兩大行（háng）業（yè），是“十（shí）二五”期間我國電子專用設（shè）備儀器產（chǎn）業發展的指導性（xìng）文件和加強行業管理、組織（zhī）實施重大工程（chéng）的依據。  
　　一、“十一五”產業發（fā）展回顧（gù）  
　　產業規模持續穩定增長（zhǎng）  
　　我國電子專用設備儀器產業在“十一五”期間保（bǎo）持了較高（gāo）的增速，雖然期間受國際金（jīn）融危機影響，2008年下半（bàn）年至2009年上半年呈現出下（xià）滑態（tài）勢，但在國內多項（xiàng）政策（cè）激勵下，隨著世界經濟逐步回暖，電子專用設備儀器業企穩回升，實現了生產、銷售和經濟效益總體平穩增長的態勢。  
　　據工業和信息化部運行監測協調局統計，“十一五”期（qī）間我國（guó）電子專用設備銷售收入（rù）年均增長率為20%，從2005年（nián）的783億元增長到超過1987億元，電（diàn）子專用設備工（gōng）業協會統計的行業骨幹企業年均增長率為25%，從52.7億元增長到（dào）160.6億元。工業和（hé）信息（xī）化部運行（háng）監測協調局統計數據表（biǎo）明，“十一五”期（qī）間我國電子儀器規模以上企業年增長19%，到“十一五”末實（shí）現銷售收入940億元。五年間，電子專用設備儀器產（chǎn）品中太陽能光伏設備以及元（yuán）器件參數測量儀器、超低頻測量儀（yí）器等保持了較大幅度的增長。  
　　重點產業領域取（qǔ）得較大成績  
　　“十一五”期（qī）間，國家科技重大專項圍繞光（guāng）刻機（jī）、刻蝕（shí）機、65納米（mǐ）製（zhì）造工藝（yì）、先進封裝設備等（děng）重點任務，集中資源重點投（tóu）入，取（qǔ）得很大進展。北方（fāng）微電子（zǐ）及上海中微（wēi）公司2種12英寸65納米刻蝕機產品樣機已進入大生產線進行考核驗（yàn）證；上海微電（diàn）子公司封裝光刻機已（yǐ）進入長（zhǎng）電科技（jì）考核測試（shì）；七星華創12英寸（cùn）氧（yǎng）化爐已進入（rù）大線測試（shì）；中科信12英（yīng）寸離子注（zhù）入機已完成3台樣機組裝，正在進行測試。多種12英寸關（guān）鍵設備陸續進入大生產線（xiàn）考核驗證，標誌著我國集成電路設備產業已初（chū）步形成產（chǎn）業化發展態勢。  
　　“十一五”期間新興產業的發展，為（wéi）電子（zǐ）專用設備產業帶來了良好的發展契機（jī）。尤其是我國晶矽太陽（yáng）能（néng）電池（chí）設備年均增長率達到58%，基本具備了從（cóng）晶體（tǐ）矽到太陽能電池片的成套生產線設備（bèi）供應能力（lì），為我國光伏產業的發展提供了有力保障（zhàng）。晶矽（guī）太陽能設備爆（bào）發（fā）式增長，為電子（zǐ）專用設備產業實現（xiàn）“十（shí）一五”規劃目標提供了有力（lì）支撐。